D'Rengheet vunAluminiumoxid Keramik Polierplacken Scheiwenhuet e wesentlechen Afloss op de Prozess, haaptsächlech an de folgende Beräicher:
1. Poliereffekt:
- Polierscheiwen aus héichreinem Aluminiumoxid-Wafer bidden eng méi eenheetlech poléiert Uewerfläch mat manner Uewerflächendefekter an Ongereinheeten.
- D'Benotzung vun héichreine Aluminiumoxid-Polierscheiwen fir d'Polierung vu Hallefleitwaferen kann d'Narben oder d'Kontaminatioun vun der Haaptuewerfläch vun de Wafer reduzéieren, d'Aféierung vu Metallionen reduzéieren, d'Auslastung vu Siliziumwaferen an d'Polierqualitéit verbesseren.
2. Produktqualitéit:
- Déi héich Rengheet vun den Aluminiumoxid-Keramik-Poléierplackescheiwen bedeit, datt hiren Unreinheetsgehalt niddreg ass, wat d'Kontaminatioun vun der Waferuewerfläch duerch Unreinheeten während dem Polierprozess reduzéiere kann.
- Polierscheiwen mat héijer Rengheet hëllefen, d'Rengheet vum Produkt ze erhalen, wouduerch eng stabil Leeschtung vun Hallefleiterkomponenten garantéiert gëtt an déi streng Prozessufuerderunge erfëllt ginn.
3. Prozessstabilitéit:
- De Koeffizient vun der thermescher Ausdehnung vun héichreine Aluminiumoxid-Polierscheiwen ass ähnlech wéi dee vu Silizium, wat hëlleft den thermesche Stress, deen duerch Temperaturännerungen verursaacht gëtt, ze reduzéieren an d'Prozessstabilitéit ze verbesseren.
- E stabile Prozess hëlleft d'Defektquote am Produktiounsprozess ze reduzéieren an d'Produktiounseffizienz ze verbesseren.
4. Chemesch Stabilitéit:
- Héichreine Aluminiumoxid huet eng exzellent chemesch Stabilitéit a kann seng Eegeschaften a Struktur an enger breeder Palette vu chemeschen Ëmfeld behalen.
- Dëst mécht Polierscheiwen aus héichreinem Aluminiumoxid manner ufälleg fir Korrosioun oder Verschleiung während dem Polierprozess a garantéiert eng méi laang Liewensdauer.
5. Wirtschaftlech Virdeeler:
- Wärend d'Ufankskäschte vun enger héichreineger Aluminiumoxid-Polierscheif héich kënne sinn, reduzéieren hir exzellent Eegeschaften a laang Liewensdauer d'Gesamtproduktiounskäschten.
- Zousätzlech kënnen héichreine Polierscheiwen d'Produktqualitéit an d'Prozessstabilitéit verbesseren, d'Zuel vun defekten Produkter reduzéieren an d'wirtschaftlech Virdeeler weider verbesseren.
6. Impakt vun techneschen Indicateuren:
- Laut dem referenzéierten Artikel hunn Polierscheiwen aus héichreinem Aluminiumoxid (99,7%-99,9%) exzellent physikalesch a chemesch Eegeschaften, wéi héich mechanesch Festigkeit, héich Verschleißbeständegkeet, héich elektresch Isolatioun, héich chemesch Stabilitéit, gutt Hëtzt- a Korrosiounsbeständegkeet.
- Dës technesch Indicateuren beaflossen direkt den Effekt vum Polierprozess an d'Produktqualitéit.
D'Reinheet vun der poléierter Placke vun Aluminiumoxid-Keramikwafer huet en entscheedenden Afloss op de Prozess. Eng héichrein Polierscheif kann den Poliereffekt, d'Produktqualitéit an d'Prozessstabilitéit verbesseren, wärend gläichzäiteg d'Gesamtproduktiounskäschte reduzéiert ginn. Dofir ass d'Wiel vun héichreinege Polierscheiwen vun Aluminiumoxid am Hallefleederherstellungsprozess wichteg, fir d'Produktqualitéit ze garantéieren an d'Produktiounseffizienz ze verbesseren.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 14. Juli 2024
